工研院與東捷及群創三方合作建立玻璃通孔製程驗證系統 搶進半導體大廠封測
▲工研院與東捷及群創三方技術合作,建立玻璃通孔製程驗證系統,助力面板級扇出型封裝後續產能提升。(記者李嘉祥翻攝)
工研院19日於臺南六甲院區舉辦「先進雷射製造與數位轉型應用研討會暨成果發表」,其中經濟部產業技術司補助工研院研發的「高深寬比玻璃載板雷鑽暨金屬化技術」擁有目前業界兼具最高的深寬比與真圓度能力,大幅提升雷射鑽孔玻璃基板加工速度,今年與設備大廠東捷、面板大廠群創三方技術合作,於工研院建立玻璃通孔(Through Glass Via, TGV)製程驗證系統,利用東捷、群創合作開發的光彈檢測系統,輔以超快雷射後定量分析的強健性與可靠性驗證,投入半導體大廠封裝測試,助力面板級扇出型封裝後續產能提升,加速台灣先進封裝產業切入國際供應鏈。
工研院南分院表示,玻璃基板具有高平坦度、高耐溫、低熱膨脹係數等優異特性,能有效提升高階晶片產品的整體效能和可靠度,帶動TGV封裝技術市場需求。根據TGV基板市場報告指出,2023年全球TGV基板市場規模達到1.01億美元,預計到2030年將增長至4.24億美元,2024年至2030年的年複合增長率為22%。隨著對小型化、高性能電子設備需求的增加,市場未來將持續擴大。
工研院南分院執行長曹芳海指出,搭載精密細微電路的玻璃載板是下世代的關鍵元件之一,工研院研發以超快雷射取代傳統雷射製程技術,透過一次性的雷射脈衝,使TGV的鑽孔殘留應力與微裂紋大幅降低,並使孔徑縮小至7.9微米,平均真圓度高於90%,TGV深寬比最高達25,領先業界,可實現更高的電晶體密度及效能。
曹芳海執行長說,相較傳統雷射製程技術每鑽100萬孔TGV耗時可達近30小時,工研院以超快雷射發展的高深寬比TGV技術,保守估計約需1小時,大幅節省95%以上工時,提供業者快速、低破損與FOPLP高階封裝製程等方案,不僅產速提升,耗材磨損減少,估計可減少碳排放量40%以上。
工研院也攜手米得科技展出AIoT智能節電控制系統,由工研院開發碳錶硬體模組,結合米得科技的極速晶圓節電控制技術,建置全智能化無線能源與製程數據可視化與警示系統,當設備超載或發生故障時,除可發送警報通知、協助使用者端即時控制耗能設備外,平時亦可獲得產碳熱點資訊及時導入優化系統節能減碳方案,雙方合作藉由科技廠房、飯店、醫療院所等通路,協助各行各業快速啟動節能數位化淨零轉型。
曹芳海執行長強調,工研院擘畫「2035技術策略與藍圖」,聚焦「智慧生活」、「健康樂活」、「永續環境」、「韌性社會」四大應用領域的研發方向,並發展「智慧化致能技術」以促成應用領域;在永續環境領域,工研院以科技創新打造生生不息的未來,發展「循環經濟」、「低碳製造」、「綠能系統與環境科技」等三大次領域,建立淨零永續社會與產業發展共榮的生態體系,也會持續開發更高效、低碳節能的先進製造技術,提升產業國際競爭力。
工研院南分院表示,玻璃基板具有高平坦度、高耐溫、低熱膨脹係數等優異特性,能有效提升高階晶片產品的整體效能和可靠度,帶動TGV封裝技術市場需求。根據TGV基板市場報告指出,2023年全球TGV基板市場規模達到1.01億美元,預計到2030年將增長至4.24億美元,2024年至2030年的年複合增長率為22%。隨著對小型化、高性能電子設備需求的增加,市場未來將持續擴大。
工研院南分院執行長曹芳海指出,搭載精密細微電路的玻璃載板是下世代的關鍵元件之一,工研院研發以超快雷射取代傳統雷射製程技術,透過一次性的雷射脈衝,使TGV的鑽孔殘留應力與微裂紋大幅降低,並使孔徑縮小至7.9微米,平均真圓度高於90%,TGV深寬比最高達25,領先業界,可實現更高的電晶體密度及效能。
曹芳海執行長說,相較傳統雷射製程技術每鑽100萬孔TGV耗時可達近30小時,工研院以超快雷射發展的高深寬比TGV技術,保守估計約需1小時,大幅節省95%以上工時,提供業者快速、低破損與FOPLP高階封裝製程等方案,不僅產速提升,耗材磨損減少,估計可減少碳排放量40%以上。
工研院也攜手米得科技展出AIoT智能節電控制系統,由工研院開發碳錶硬體模組,結合米得科技的極速晶圓節電控制技術,建置全智能化無線能源與製程數據可視化與警示系統,當設備超載或發生故障時,除可發送警報通知、協助使用者端即時控制耗能設備外,平時亦可獲得產碳熱點資訊及時導入優化系統節能減碳方案,雙方合作藉由科技廠房、飯店、醫療院所等通路,協助各行各業快速啟動節能數位化淨零轉型。
曹芳海執行長強調,工研院擘畫「2035技術策略與藍圖」,聚焦「智慧生活」、「健康樂活」、「永續環境」、「韌性社會」四大應用領域的研發方向,並發展「智慧化致能技術」以促成應用領域;在永續環境領域,工研院以科技創新打造生生不息的未來,發展「循環經濟」、「低碳製造」、「綠能系統與環境科技」等三大次領域,建立淨零永續社會與產業發展共榮的生態體系,也會持續開發更高效、低碳節能的先進製造技術,提升產業國際競爭力。