經濟部表示，為協助我國設備業者解決半導體驗證時程長之風險，透過與終端業者（台積電、日月光、聯電）溝通，以產創主題式計畫補助設備業者開發終端業者產線所需之設備，通過品質驗證取得量產訂單，增加國產設備產值提升設備自主化。原目標於一一○年至一一四年完成十五項設備以上通過驗證，增加產值達四十五億元。自一一○年至一一三年四月底，已補助廿三項設備投入驗證，其中十三項設備通過終端客戶品質驗證，並取得七十六台量產設備訂單，增加產值六十億元。