经济部表示，为协助我国设备业者解决半导体验证时程长之风险，透过与终端业者（台积电、日月光、联电）沟通，以产创主题式计画补助设备业者开发终端业者产线所需之设备，通过品质验证取得量产订单，增加国产设备产值提升设备自主化。原目标於一一○年至一一四年完成十五项设备以上通过验证，增加产值达四十五亿元。自一一○年至一一三年四月底，已补助廿三项设备投入验证，其中十三项设备通过终端客户品质验证，并取得七十六台量产设备订单，增加产值六十亿元。